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幹法 9I在线看片成人免费刻蝕機NE-RE08H
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產品簡介

9I在线看片成人免费刻蝕機主要由高真空刻蝕腔、真空抽氣係統、真空測量係統、壓力控製係統、電源係 統、工藝氣路係統、冷卻係統、電氣控製係統和控製軟件等部分組成。

9I在线看片成人免费刻蝕是一種選擇性幹法刻蝕方法,用於各種半導體器件、MEMS器件等的製造技 術,蝕刻用於形成非平麵微觀結構-溝槽或台麵結構,以及具有受控角度的傾斜側壁,其兼 具高精加工精度和再現性。可刻蝕的材料包括但不限於單晶矽、多晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、聚合物等。


產品參數

型號NE-RE08H
極限真空度≤1×10-4 Pa
9I在线看片成人免费發生器射頻電源,自動阻抗匹配
電極最大功率≥600W
樣品尺寸≤8英寸晶圓
9I在线看片成人免费體刻蝕不均勻性≤3%
9I在线看片成人免费體刻蝕速率≥0.1μm/min(以矽晶圓為基準)
刻蝕材料支持氟基和氧基刻蝕,可刻蝕材料包括但不限於單晶矽、多晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、聚合物等
工藝氣體四路反應氣體(SF6、CHF3、O2、Ar等)
電極材質不鏽鋼
匹配器匹配穩定時間<3s
調壓速度≤30s
控製係統配備工控機自動控製係統
壓力控製係統0.5Pa~5Pa(精度:±1%;)
電極冷卻方式水冷
輸入電壓380V


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