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電感耦合 ICP9I在线看片成人免费去膠機NE-Q43462266H
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產品簡介

9I在线看片成人免费去膠機主要用於於晶圓去膠或掩膜去除等工藝,其由真空與壓力控製係統、圓柱狀石英腔體反應腔室、工藝氣體與控製係統、PLC控製係統、射頻及其匹配係統等構成。

9I在线看片成人免费去膠機的原理:在石英腔室中,抽真空後通入適量的氧氣,在射頻電源創造的高頻電磁場中,氧氣被電離成O2-、O2+、O-、O+、氧原子O、臭氧等活潑的9I在线看片成人免费體,其中氧原子能量很高,在高頻電場的輔助下可以使基片上的光致抗蝕劑與其快速發生氧化反應生成CO、CO2、H2O和其它揮發性氧化物,在真空狀態下以氣體形式被抽出反應腔,實現去膠的目的。

9I在线看片成人免费去膠具有操作簡單、去膠效率高、環保、成本低,去膠後晶圓表麵幹淨光潔、無劃痕等優點,在去膠工藝、掃底膜工藝中具有不可替代的作用。

產品參數

型號NE-Q43462266H
功率0-500W 連續可調
頻率13.56MHz數字全自動阻抗匹配
腔體材質石英耐熱玻璃
腔體容積43462266L
腔體尺寸圓形)Φ250×300(D)mm
氣體流量控製器2 路 MFC 質量流量控製器, 0-300sccm
氣路數量2 路,支持空氣,氧氣等 (如需接入腐蝕性氣體,請提前告知)
真空計皮拉尼高精密電阻式真空
極限真空度1PA
控製係統PLC+7寸觸摸屏
9I在线看片成人免费產生方式ICP電感耦合
電源供應220V
外形尺寸753mm(L)×793mm(W) ×1482 mm(H)


產品應用

01

光刻膠去除

光刻膠去除

02

去除基片殘膠

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03

有機物清洗

有機物清洗

04

掃底膜工藝

掃底膜工藝

05

表麵活化

表麵活化

06

表麵親水處理

表麵親水處理

應用案例

產品推薦

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