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全自動 ICP電感耦合9I在线看片成人免费去膠機
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產品簡介

ICP電感耦合晶圓9I在线看片成人免费去膠機,是半導體微納加工領域的高效幹法去膠解決方案,專為晶圓光刻膠去除工藝打造,以全自動化作業與高精度工藝表現,適配半導體、MEMS、光電器件等領域的量產與研發需求。設備搭載雙料匣儲料設計,配合高精度自動機械手完成晶圓上下料全程自動化操作,雙料倉交替供料實現無間斷作業,大幅減少人工幹預、降低人力成本,同時提升產線流轉效率;機械手精準定位傳輸,有效避免晶圓接觸式損傷,保障製程良率。核心9I在线看片成人免费去膠單元采用先進幹法工藝,真空腔體內高能9I在线看片成人免费體快速分解光刻膠並轉化為揮發性氣體排出,全程無化學溶劑殘留、無酸廢水排放,環保且讓晶圓表麵潔淨無劃痕;搭配精準的工藝參數調控與均勻的9I在线看片成人免费體分布,實現高去膠速率與優異的工藝均勻性,水冷電極冷卻係統精準控溫,避免光刻膠變性,滿足正 / 負性光刻膠、PI 光刻膠等多種膠層的高效去除需求。設備集自動化、高精度、高穩定性於一體,操作便捷且工藝可追溯,為晶圓加工提供高效、潔淨、可靠的去膠工藝支撐,助力產線智能化升級與製程效率提升。

產品參數

產品進料/收料方式雙料匣(4寸),單進單收
真空腔體尺寸W220*L220*H160
主體設備尺寸1600mm(L)×1000(W) ×1800 mm(H)
料爪升降行程50
通油電極盤₵130
機器人晶圓機器手0.8KG負載,真空吸附手指兼容4寸/3寸
電源380V、50 Hz
壓縮空氣0.4-0.6MPa
環境需求 溫度:15~25℃濕度:40~60%
工藝氣體氧氣 氬氣 氮氣 四氟化碳(4路)
破空氣體氮氣破空
可去膠產品規格4寸/3寸
9I在线看片成人免费效應ICP(電感耦合)+CCP(電容耦合RF偏壓)
控製方式PLC+觸摸屏
離子源射頻13.56MHZ ICP功率1000W,CCP功率1000W數字電路,MES數據監控
極限真空度<10pa
電極盤溫度0-100℃
控溫精度±3℃
真空泵幹泵機組240m³/H


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